Abstracto

Comportamiento de los materiales frente a los efectos térmicos bajo microscopio electrónico de barrido. Modelo híbrido de dinámica molecular y Monte Carlo

Abdelkader Nouiri

Un microscopio electrónico de barrido (MEB) proporciona una forma conveniente de proporcionar información estructural a escala micro y nanométrica. Sin embargo, el aumento de temperatura debido al bombardeo de electrones durante el análisis MEB ha sido una preocupación porque puede modificar los resultados de MEB, en particular en nanoestructuras. Para comprender cuantitativamente el aumento de temperatura durante el análisis MEB, se desarrolló un modelo híbrido, dinámica molecular combinada con el método de Monte Carlo. Se estudió la influencia de algunos parámetros, como el voltaje de aceleración, la corriente primaria y la duración del barrido. El perfil de temperatura resultante dentro de los materiales semiconductores y los granos de apatita hipotéticos indica un aumento máximo de temperatura cerca de la superficie, seguido de una reducción continua de la temperatura en función de la profundidad desde la superficie.