Abstracto

Comparación de métodos de examen de luz secuencial, electrones de barrido y fuerza atómica para patrones generados por litografía de haz de electrones

Sheng Zhang, Tao Li, Gangqiang Zhang y Yuzhen Feng

Las placas superelípticas, que se definen por formas entre una elipse y un rectángulo, tienen una amplia gama de usos en aplicaciones de ingeniería. En la literatura se encuentran disponibles investigaciones sobre comportamientos no lineales de placas superelípticas isotrópicas, mientras que en la actualidad no se han publicado investigaciones sobre comportamientos no lineales de placas superelípticas FGM. En este artículo, se presenta por primera vez el análisis de flexión no lineal y post-pandeo térmico para placas superelípticas funcionalmente graduadas según la teoría clásica de placas. Se supone que las propiedades del material dependen de la temperatura y se graduan en la dirección del espesor. Las ilustraciones numéricas se refieren a los comportamientos no lineales de placas funcionalmente graduadas con borde inamovible simplemente apoyado y borde inamovible sujetado. Se analizan en detalle las influencias de los diferentes límites soportados, las condiciones ambientales térmicas y el índice de fracción de volumen utilizando el método de Ritz.